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Matériel·2 min de lecture

Cosmoke conçoit un outil inline d'analyse des films MRAM

La start-up sud-coréenne Cosmoke transforme son instrument de recherche magnéto-optique en équipement de production pour contrôler les couches minces magnétiques des MRAM et capteurs.

Semiconductor wafer inspection equipment measuring magnetic thin films in a cleanroom fabrication line.
Image: 미래를 보는 창 - 전자신문

La start-up sud-coréenne de technologies de rupture Cosmoke développe un système inline capable d'analyser, sans les détruire, les couches minces magnétiques utilisées dans les mémoires et capteurs de nouvelle génération. Son objectif : faire passer sa technologie du laboratoire aux lignes de fabrication de semi-conducteurs.

Fondée en 2023 par Jang Beom-jin, professeur assistant de robotique à l'université Hanyang ERICA, l'entreprise s'appuie sur l'effet Kerr magnéto-optique (MOKE). Elle vise les besoins d'analyse des MRAM, des capteurs magnétorésistifs (MR) et des semi-conducteurs spintroniques.

Mesurer ce qui détermine le rendement

La métrologie classique des semi-conducteurs se concentre surtout sur l'épaisseur des films et les défauts de surface. Cosmoke mesure plutôt les propriétés magnétiques, qui influent directement sur les performances et le rendement des composants. Dans les dispositifs magnétiques comme les MRAM, l'intensité, la direction et l'homogénéité de l'aimantation conditionnent le courant d'écriture, la rétention des données et le taux d'erreurs.

Sa différence : détecter en temps réel, au sein même de la ligne de production, les anomalies des films magnétiques.

Du modèle de recherche à l'équipement d'usine

Selon l'entreprise, des clients ont validé la technologie de son modèle de recherche COSMOKE RESEARCH. Elle l'étend désormais à COSMOKE SEMI, un modèle de production dédié à la caractérisation magnétique inline non destructive dans les procédés MRAM et capteurs MR.

Le système réunira un générateur de champ électromagnétique, un module optique, une platine haute performance, un module de transfert de plaquettes (EFEM) et une unité de filtration d'air (FFU) adaptés à l'environnement inline, ainsi qu'un logiciel d'analyse et de correction fondé sur l'IA. Cette année, le développement du générateur de champ et du module optique, éléments clés de COSMOKE SEMI, entre dans sa phase active. Cosmoke travaille avec des spécialistes des équipements inline pour perfectionner l'outil.

Jang estime que les équipements de ligne capables d'analyser sans destruction les composants magnétiques manquent sur le marché. Il entend livrer un outil inline prêt pour la production, contribuer à améliorer les rendements des prochains procédés et s'imposer sur le marché mondial de l'analyse inline.

Ce travail s'inscrit dans le projet « Super-Gap Startup » (DIPS) 2026, soutenu par le ministère coréen des PME et des start-up et l'agence de promotion des start-up.

Mots-clés:cosmokemramsemiconductor metrologyspintronicsmokesouth korea

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