Cosmoke entwickelt Inline-Messtechnik für MRAM-Magnetschichten

Das südkoreanische Deep-Tech-Startup Cosmoke entwickelt ein Inline-System, das magnetische Dünnschichten für Speicher und Sensoren der nächsten Generation zerstörungsfrei analysiert. Ziel ist es, die Technik vom Labor in die Halbleiterfertigung zu bringen.

Gegründet wurde das Unternehmen 2023 von Jang Beom-jin, Assistenzprofessor für Robotik an der Hanyang University ERICA. Cosmoke nutzt den magnetooptischen Kerr-Effekt (MOKE) und adressiert den Analysebedarf bei MRAM, magnetoresistiven (MR) Sensoren und Spintronik-Halbleitern.

Messen, was die Ausbeute bestimmt

Die klassische Halbleitermesstechnik konzentriert sich vor allem auf Schichtdicke und Oberflächendefekte. Cosmoke misst dagegen magnetische Eigenschaften, die Leistung und Ausbeute (Yield) der Bauelemente unmittelbar beeinflussen. Bei magnetischen Bauelementen wie MRAM wirken Stärke, Richtung und Gleichmäßigkeit der Magnetisierung auf Schreibstrom, Datenhaltung und Fehlerraten.

Das Unternehmen setzt auf Echtzeitprüfung von Auffälligkeiten in der Magnetschicht direkt in der Fertigungslinie statt in einem separaten Labor.

Vom Forschungsgerät zur Fab-Anlage

Nach Angaben von Cosmoke wurde die Technik im Forschungsmodell COSMOKE RESEARCH durch Kunden validiert. Nun überträgt die Firma sie auf COSMOKE SEMI, ein Fertigungsmodell für die zerstörungsfreie Inline-Charakterisierung magnetischer Eigenschaften in MRAM- und MR-Sensor-Prozessen.

In einem System sollen Magnetfelderzeuger, optisches Modul, Hochleistungs-Positioniertisch, ein für Inline-Umgebungen optimiertes Wafer-Transfermodul (EFEM) samt Fan-Filter-Unit (FFU) sowie KI-gestützte Analyse- und Korrektursoftware zusammenlaufen. In diesem Jahr kommt die Entwicklung von Magnetfelderzeuger und optischem Modul, den Kernkomponenten von COSMOKE SEMI, richtig in Gang. Gemeinsam mit Inline-Anlagenexperten will Cosmoke die Funktionen für den Produktionseinsatz verfeinern.

Jang sagte, es gebe am Markt nicht genügend Fertigungsanlagen, die magnetische Bauelemente zerstörungsfrei analysieren könnten. Er wolle ein produktionsreifes Inline-Gerät fertigstellen, die Ausbeute in Prozessen für künftige Chips steigern und im globalen Markt für Inline-Messtechnik wettbewerbsfähig werden.

Das Vorhaben gehört zum „Super-Gap Startup Project“ (DIPS) 2026, das vom koreanischen Ministerium für KMU und Startups sowie der Startup-Förderagentur unterstützt wird.