Cosmoke создаёт инлайн-тестер магнитных плёнок для MRAM без разрушения

Южнокорейский стартап Cosmoke разрабатывает систему, которая прямо на производственной линии проверяет свойства магнитных тонких плёнок, не повреждая пластины. Компания хочет перенести лабораторную технологию на заводы, выпускающие память MRAM и магниторезистивные (MR) датчики.

Стартап в 2023 году основал Джан Бомджин — доцент кафедры робототехники кампуса ERICA университета Ханян и заведующий кафедрой производственного ИИ в Высшей школе конвергентных индустрий. Решение построено на магнитооптическом эффекте Керра (MOKE) и нацелено также на спинтронные полупроводники.

Магнитные свойства вместо одной толщины

Традиционная метрология в полупроводниковом производстве сосредоточена на толщине плёнок и поверхностных дефектах. Cosmoke делает ставку на быстрые измерения магнитных характеристик, которые напрямую влияют на работу приборов и выход годных. В MRAM и подобных устройствах сила, направление и однородность намагниченности определяют ток записи, сохранность данных и частоту ошибок.

От исследовательской модели к линии

У компании есть исследовательская модель COSMOKE RESEARCH, прошедшая проверку у заказчиков. Её ключевую технологию Cosmoke переносит в заводской вариант COSMOKE SEMI, рассчитанный на процессы MRAM и MR-датчиков и на неразрушающий инлайн-анализ магнитных свойств.

В единую систему планируется объединить генератор электромагнитного поля, оптический модуль, высокопроизводительный стол, модуль загрузки пластин (EFEM), фильтрующую установку (FFU) и ПО на основе ИИ для анализа и коррекции. В этом году развернулась разработка генератора поля и оптического модуля, а вместе со специалистами по инлайн-оборудованию компания дорабатывает функции для производства.

«Оборудования для неразрушающего анализа магнитных приборов на производственных линиях на рынке недостаточно», — заявил Джан. По его словам, цель — повысить выход годных в производстве полупроводников следующего поколения и укрепить позиции на мировом рынке инлайн-анализа.