Cosmoke、MRAM向け磁性薄膜のインライン非破壊分析装置を開発

韓国のディープテック・スタートアップCosmokeが、MRAMやセンサーの製造に使う磁性薄膜を、壊さずに分析するインライン装置の開発を進めている。研究用で実績を積んだ技術を、半導体の製造ラインに組み込める装置へ広げる狙いだ。

磁気特性の測定に特化

同社は2023年、漢陽大学ERICAロボット工学科の助教授であるチャン・ボムジン氏が創業した。磁気光学カー効果（MOKE）を基盤に、MRAM、MRセンサー、スピントロニクス半導体など次世代メモリー・センサーの分析需要を狙う。

従来の半導体計測は薄膜の厚さや表面欠陥が中心だった。Cosmokeは、素子の性能と歩留まりに直結する磁気特性を高速に測る技術を開発している。MRAMなどでは磁性の強さ・方向・均一性が、書き込み電流、データ保持、エラー率を左右するという。

研究用から量産ライン用へ

顧客の検証を経た研究用モデル「COSMOKE RESEARCH」の中核技術を、製造ライン向けの「COSMOKE SEMI」に展開する。MRAMおよびMRセンサー工程でインライン非破壊の磁気特性分析が可能という。

電磁場発生装置、光学モジュール、高性能ステージ、ウエハー搬送モジュール（EFEM）、ファンフィルターユニット（FFU）、AIベースの分析・補正ソフトを一つのシステムに統合する方針だ。今年は磁場発生装置と光学モジュールの開発が本格化し、インライン設備の専門家と協力して機能を高度化する。

チャン氏は「磁性素子を非破壊で分析できる製造ライン用装置は市場に十分ない」と述べ、次世代半導体の歩留まり向上に貢献し、グローバルなインライン分析装置市場で競争力のある企業を目指すとした。