코스모크, MRAM 자성 박막 인라인 비파괴 분석장비 개발

딥테크 스타트업 코스모크가 M램과 센서 제조에 쓰이는 자성 박막을 훼손 없이 분석하는 인라인 장비 개발에 속도를 내고 있다. 연구용 장비에서 검증받은 기술을 반도체 제조라인에 적용할 수 있는 장비로 확장한다는 계획입니다.

자성 특성 측정에 집중

코스모크는 2023년 한양대 ERICA 로봇공학과 장범진 조교수가 창업했습니다. 자기광학 효과인 MOKE를 기반으로 M램, MR 센서, 스핀트로닉스 반도체 등 차세대 메모리·센서 분석 수요를 공략합니다.

기존 반도체 계측은 박막 두께나 표면 결함 분석에 집중해 왔습니다. 코스모크는 소자 성능과 수율에 직접 영향을 주는 자성 특성을 빠르게 측정하는 기술을 개발하고 있습니다. M램 같은 자성 소자는 자성의 세기, 방향, 균일성이 쓰기 전류와 데이터 보존, 오류율을 좌우합니다.

연구용에서 제조용으로

회사는 고객사 검증을 거친 연구용 모델 'COSMOKE RESEARCH'의 핵심 기술을 제조라인용 'COSMOKE SEMI'로 확장했습니다. 이 장비는 M램과 MR 센서 공정에서 인라인 비파괴 자성 특성 분석이 가능합니다.

전자기장 발생장치, 광학 모듈, 고성능 스테이지, 웨이퍼이송모듈(EFEM), 공기여과송풍장치(FFU), AI 기반 분석·보정 소프트웨어를 하나의 시스템으로 통합할 방침입니다. 올해는 자기장 발생장치와 광학 모듈 개발이 본격화하며, 인라인 설비 전문가들과 협력해 기능을 고도화합니다.

장범진 대표는 "자성 소자를 비파괴 분석할 수 있는 제조라인용 장비가 시장에 충분하지 않다"며 수율 향상에 기여하고 글로벌 인라인 분석장비 시장에서 경쟁력을 갖추겠다고 밝혔습니다.